Mikromechanik: Aktoren

Beschreibung / Inhalt
Das Dokument befasst sich mit der Mikromechanik und den verschiedenen Anwendungen von Mikromechanik-Aktoren, die elektrische Signale in physikalische Größen umwandeln können, wie beispielsweise Kraft oder Drehmoment. Es werden verschiedene Wandlereffekte wie elektrostatische Kräfte, piezoelektrische Kräfte, thermomechanische Kräfte und Shape-Memory-Alloys beschrieben. Zu den vorgestellten Aktoren gehören Mikromechanische Schalter, Lichtmodulatoren und Anzeigeelemente, Mikromechanische Ventile, Mikromechanische Pumpen, Mikromotoren und Mikroturbinen. Des Weiteren werden Analysesysteme erwähnt, die in der chemischen und biologischen Analytik eingesetzt werden. Ein Beispiel ist ein Blutanalysesystem zur in vitro Bestimmung des pH-Wertes. Die äußerst geringe Steuerleistung, schnelle Schaltzeiten und Integrationsmöglichkeiten auf dem Substrat der Steuerelektronik machen die Mikromechanik zu einer vielversprechenden Technologie in der Medizintechnik und anderen Anwendungsbereichen.
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Auszug aus Referat
Mikromechanik: Aktoren Die Mikromechanik nimmt an Bedeutung zu. Nach der Miniaturisierung in der Elektronik wendet sich die Forschung verstärkt der Entwicklung mikromechanischer Strukturen zu. Während für mikromechanische Sensoren bereits verschiedenste Anwendungen bestehen, beispielsweise in der Fahrzeugtechnik als Beschleunigungssensoren für das ABS, bestenen für mikromechanische Aktoren vielfältige Anwendungsmöglichkeiten in der Medizintechnik. So ist es etwa denkbar, ferngesteuerte, kleine Roboter durch die Blutbahnen des Menschen zu schicken, um dort kleine Operationen vornehmen zu lassen. Der vorliegende Artikel gibt eine übersicht über den Aufbau und einige Anwendungsmöglichkeiten von mikromechanischen Aktoren. Inhaltsübersicht 1. Allgemeines 2. Mikromechanische Schalter 3. Lichtmodulatoren und Anzeigeelemente 4. Mikromechanische Ventile 5. Mikromechanische Pumpen 6. Mikromotoren 7. Mikroturbinen 8. Analysesysteme 9. Vakuum-Mikroelektronik 10. Strukturen in Datenausgabegeräten I. Aktoren 1. Allgemeines Unter Aktoren versteht man Bauteile, die den umgekehrten Weg wie die Sensoren gehen, also ein elektrisches (oder optisches) Signal in eine physikalische Größe wie Kraft, Drehmoment oder Dimensionsänderung umwandeln. Dazu können folgende Wandlereffekte eingesetzt werden: Elektrostatische Kräfte. Dabei ändert eine mikromechanische Struktur als bewegliche Elektrode ihre Position gegenüber einer festen Gegenelektrode. Piezoelektrische Kräfte. Bei Anlegen eines elektrischen ...
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